金融界 2024 年 8 月 23 日消息,天眼查知识产权信息显示,烟台睿创微纳技术股份有限公司申请一项名为“微测辐射热计及其制备方法“,公开号 CN9.X,申请日期为 2022 年 1 月。
专利摘要显示,本申请提供了一种微测辐射热计及其制备方法,在所述微测辐射热计中将吸气剂层集成在用于支撑热敏感层的支撑桥的桥面下方的基底上,可以采用 MEMS 工艺制备微测辐射热计以及吸气剂层,有利于优化微测辐射热计的制备工艺。此外,由于吸气剂层设置在微测辐射计内部,使微测辐射热计不受封装结构复杂度和封装工艺难度的限制,可有效的提高微测辐射热计生产效率,并降低生产成本。